“科創(chuàng)中國”半導體芯片檢測技術創(chuàng)新基地-西安

“科創(chuàng)中國”半導體芯片檢測技術創(chuàng)新基地：

布局建設世界一流大科學裝置群，建立新型協(xié)同創(chuàng)新研究實體

來源：科創(chuàng)中國 日期：2022-10-01 08:12 瀏覽量：122

[color=rgb(85, 85, 85) !important]為貫徹落實黨中央、國務院關于促進產學研融合的一系列重要決策部署，根據《中國科學技術協(xié)會事業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃（2021-2025年）》《“科創(chuàng)中國”三年行動計劃（2021-2023年）》等，按照“科創(chuàng)中國”建設“求實效、植內涵、提質量、筑生態(tài)”的總體要求，面向全國組織開展認定首批“科創(chuàng)中國”創(chuàng)新基地工作。

[color=rgb(85, 85, 85) !important]近日，根據《“科創(chuàng)中國”創(chuàng)新基地建設實施與管理辦法（試行）》（科協(xié)辦函創(chuàng)字〔2022〕57號）《中國科協(xié)辦公廳關于推薦首批“科創(chuàng)中國”創(chuàng)新基地的通知》（科協(xié)辦函創(chuàng)字〔2022〕60號）要求，經評審和公示，194家單位入選首批“科創(chuàng)中國”創(chuàng)新基地。獲得認定的創(chuàng)新基地進入建設階段，建設周期為2022年至2024年?！笨苿?chuàng)中國“刊發(fā)首批入選基地簡介，展示基地風采。

[color=rgb(85, 85, 85) !important]瞄準半導體芯片檢測領域，政產學研協(xié)同發(fā)展

[color=rgb(85, 85, 85) !important]西安交通大學是國家教育部直屬綜合研究型重點大學，首批進入國家“211”和“985”工程，是“七五”“八五”重點建設單位。西安交通大學研究團隊瞄準半導體芯片檢測領域，依托學科與人才培養(yǎng)優(yōu)勢，創(chuàng)新產學研合作模式，建立半導體芯片檢測基地，著力解決半導體芯片檢測領域的關鍵核心技術難題，充分發(fā)揮科技對區(qū)域經濟和社會發(fā)展的支撐作用。

[color=rgb(85, 85, 85) !important]推進建立產學研協(xié)同機制，開展企業(yè)深度合作

[color=rgb(85, 85, 85) !important]半導體芯片檢測技術創(chuàng)新基地（以下簡稱“創(chuàng)新基地”）通過國家技術轉移中心等與芯片和制造領域的企業(yè)開展產學研深度合作。研究團隊完成了國家和省部級重大重點項目等20多項，獲得科技獎近10項，授權國內外相關發(fā)明專利60多項。在研究過程中緊密結合企業(yè)實際需求，積極推動科技成果轉化和產業(yè)化進程。同時，面向國家重點發(fā)展以及關鍵“卡脖子”領域，與相關企業(yè)合作建立育人基地并開展長期科研合作，推進技術成果在半導體芯片領域進行應用，促進企業(yè)與高?？蒲蓄I域協(xié)同發(fā)展。所提出的“如何解決三維半導體芯片中納米結構測量難題？”入選中國科協(xié)2021十大工程技術難題，并組織相關領域專家進行了成果鑒定和評審，形成了行業(yè)發(fā)展報告，為制定政策法規(guī)、發(fā)展規(guī)劃、行業(yè)標準提供了重要依據。負責完成的“大長徑比納米探針可控制備技術及應用”入選了2020年中國科協(xié)首屆“科創(chuàng)中國”先導技術榜單。創(chuàng)新基地面向國家重大需求，通過與企業(yè)開展深度合作，逐步建立了半導體芯片檢測協(xié)同發(fā)展平臺。

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[color=rgb(85, 85, 85) !important]問題導向型研究路徑推動技術創(chuàng)新并走向生產實踐

[color=rgb(85, 85, 85) !important]針對半導體芯片檢測領域的發(fā)展需求，創(chuàng)新基地已經孵化了西安明創(chuàng)中測科技有限公司。瞄準當下半導體檢測領域的需求，在PCB、LED芯片、半導體芯片結構尺寸測量和缺陷檢測、精密零件外觀缺陷檢測以及特征尺寸在線測量等方面培養(yǎng)一系列專業(yè)人才，積累了豐富的技術經驗。已經開發(fā)了用于新一代平板顯示器OLED關鍵尺寸測量裝備、半導體芯片結構尺寸測量裝備和缺陷檢測裝備、用于精密零部件外觀缺陷和特征尺寸在線檢測系列設備等。

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[color=rgb(85, 85, 85) !important]產學研相互融合促進建設產業(yè)技術平臺

[color=rgb(85, 85, 85) !important]西安交通大學楊樹明教授牽頭承擔創(chuàng)新基地的建設工作，華中科技大學、南開大學、復旦大學、中國科學院長春光學精密機械與物理研究所等參加并提供技術支撐，共同建設創(chuàng)新基地并形成示范。在當地創(chuàng)新驅動政策支持下，解決人才、場地、資金問題，實現人才驅動創(chuàng)新、創(chuàng)新推進生產的良性循環(huán)，形成從測量理論、關鍵技術、高端裝備到工程應用的系列成果，推動半導體芯片檢測領域持續(xù)發(fā)展。

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