“科創(chuàng)中國”半導(dǎo)體芯片檢測技術(shù)創(chuàng)新基地-西安

“科創(chuàng)中國”半導(dǎo)體芯片檢測技術(shù)創(chuàng)新基地：

布局建設(shè)世界一流大科學(xué)裝置群，建立新型協(xié)同創(chuàng)新研究實體

來源：科創(chuàng)中國 日期：2022-10-01 08:12 瀏覽量：122

[color=rgb(85, 85, 85) !important]為貫徹落實黨中央、國務(wù)院關(guān)于促進產(chǎn)學(xué)研融合的一系列重要決策部署，根據(jù)《中國科學(xué)技術(shù)協(xié)會事業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃（2021-2025年）》《“科創(chuàng)中國”三年行動計劃（2021-2023年）》等，按照“科創(chuàng)中國”建設(shè)“求實效、植內(nèi)涵、提質(zhì)量、筑生態(tài)”的總體要求，面向全國組織開展認定首批“科創(chuàng)中國”創(chuàng)新基地工作。

[color=rgb(85, 85, 85) !important]近日，根據(jù)《“科創(chuàng)中國”創(chuàng)新基地建設(shè)實施與管理辦法（試行）》（科協(xié)辦函創(chuàng)字〔2022〕57號）《中國科協(xié)辦公廳關(guān)于推薦首批“科創(chuàng)中國”創(chuàng)新基地的通知》（科協(xié)辦函創(chuàng)字〔2022〕60號）要求，經(jīng)評審和公示，194家單位入選首批“科創(chuàng)中國”創(chuàng)新基地。獲得認定的創(chuàng)新基地進入建設(shè)階段，建設(shè)周期為2022年至2024年?！笨苿?chuàng)中國“刊發(fā)首批入選基地簡介，展示基地風(fēng)采。

[color=rgb(85, 85, 85) !important]瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體芯片檢測領(lǐng)域，政產(chǎn)學(xué)研協(xié)同發(fā)展

[color=rgb(85, 85, 85) !important]西安交通大學(xué)是國家教育部直屬綜合研究型重點大學(xué)，首批進入國家“211”和“985”工程，是“七五”“八五”重點建設(shè)單位。西安交通大學(xué)研究團隊瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體芯片檢測領(lǐng)域，依托學(xué)科與人才培養(yǎng)優(yōu)勢，創(chuàng)新產(chǎn)學(xué)研合作模式，建立半導(dǎo)體芯片檢測基地，著力解決半導(dǎo)體芯片檢測領(lǐng)域的關(guān)鍵核心技術(shù)難題，充分發(fā)揮科技對區(qū)域經(jīng)濟和社會發(fā)展的支撐作用。

[color=rgb(85, 85, 85) !important]推進建立產(chǎn)學(xué)研協(xié)同機制，開展企業(yè)深度合作

[color=rgb(85, 85, 85) !important]半導(dǎo)體芯片檢測技術(shù)創(chuàng)新基地（以下簡稱“創(chuàng)新基地”）通過國家技術(shù)轉(zhuǎn)移中心等與芯片和制造領(lǐng)域的企業(yè)開展產(chǎn)學(xué)研深度合作。研究團隊完成了國家和省部級重大重點項目等20多項，獲得科技獎近10項，授權(quán)國內(nèi)外相關(guān)發(fā)明專利60多項。在研究過程中緊密結(jié)合企業(yè)實際需求，積極推動科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化進程。同時，面向國家重點發(fā)展以及關(guān)鍵“卡脖子”領(lǐng)域，與相關(guān)企業(yè)合作建立育人基地并開展長期科研合作，推進技術(shù)成果在半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域進行應(yīng)用，促進企業(yè)與高?？蒲蓄I(lǐng)域協(xié)同發(fā)展。所提出的“如何解決三維半導(dǎo)體芯片中納米結(jié)構(gòu)測量難題？”入選中國科協(xié)2021十大工程技術(shù)難題，并組織相關(guān)領(lǐng)域?qū)＜疫M行了成果鑒定和評審，形成了行業(yè)發(fā)展報告，為制定政策法規(guī)、發(fā)展規(guī)劃、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提供了重要依據(jù)。負責(zé)完成的“大長徑比納米探針可控制備技術(shù)及應(yīng)用”入選了2020年中國科協(xié)首屆“科創(chuàng)中國”先導(dǎo)技術(shù)榜單。創(chuàng)新基地面向國家重大需求，通過與企業(yè)開展深度合作，逐步建立了半導(dǎo)體芯片檢測協(xié)同發(fā)展平臺。

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[color=rgb(85, 85, 85) !important]問題導(dǎo)向型研究路徑推動技術(shù)創(chuàng)新并走向生產(chǎn)實踐

[color=rgb(85, 85, 85) !important]針對半導(dǎo)體芯片檢測領(lǐng)域的發(fā)展需求，創(chuàng)新基地已經(jīng)孵化了西安明創(chuàng)中測科技有限公司。瞄準(zhǔn)當(dāng)下半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域的需求，在PCB、LED芯片、半導(dǎo)體芯片結(jié)構(gòu)尺寸測量和缺陷檢測、精密零件外觀缺陷檢測以及特征尺寸在線測量等方面培養(yǎng)一系列專業(yè)人才，積累了豐富的技術(shù)經(jīng)驗。已經(jīng)開發(fā)了用于新一代平板顯示器OLED關(guān)鍵尺寸測量裝備、半導(dǎo)體芯片結(jié)構(gòu)尺寸測量裝備和缺陷檢測裝備、用于精密零部件外觀缺陷和特征尺寸在線檢測系列設(shè)備等。

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[color=rgb(85, 85, 85) !important]產(chǎn)學(xué)研相互融合促進建設(shè)產(chǎn)業(yè)技術(shù)平臺

[color=rgb(85, 85, 85) !important]西安交通大學(xué)楊樹明教授牽頭承擔(dān)創(chuàng)新基地的建設(shè)工作，華中科技大學(xué)、南開大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所等參加并提供技術(shù)支撐，共同建設(shè)創(chuàng)新基地并形成示范。在當(dāng)?shù)貏?chuàng)新驅(qū)動政策支持下，解決人才、場地、資金問題，實現(xiàn)人才驅(qū)動創(chuàng)新、創(chuàng)新推進生產(chǎn)的良性循環(huán)，形成從測量理論、關(guān)鍵技術(shù)、高端裝備到工程應(yīng)用的系列成果，推動半導(dǎo)體芯片檢測領(lǐng)域持續(xù)發(fā)展。

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