陜西半導體項目加速推進 填補8英寸制造領域空白

　　作為陜西發(fā)展半導體集成電路產業(yè)的重點項目、2024年市級重點建設項目，由陜建七建集團施工的高新區(qū)8英寸高性能特色工藝半導體集成電路生產線建設項目建設進度條持續(xù)刷新。

　　12月25日，在該項目舉行的媒體開放日中，記者了解到，項目將于今年年底前全面封頂，建成后將填補我省8英寸半導體制造領域的空白。

　　巨型“華夫板”結構

　　展現(xiàn)納米級潔凈廠房建造

　　機器轟鳴，成群結隊的工程機械來回穿梭，頭戴安全帽、身系安全帶的建筑工人在各自崗位上忙碌著……在現(xiàn)場施工管理人員的精準調度下，數十臺各類機械分頭作業(yè)，數百名工人有條不紊的奏響著建筑“進行曲”。這是記者在位于西安市高新綜合保稅區(qū)內，8英寸高性能特色工藝半導體集成電路生產線建設項目施工現(xiàn)場看到的一幕。

　　在工作人員的帶領下，記者進入到項目核心區(qū)域生產廠房的施工現(xiàn)場。剛走到二樓，抬頭望向天花板，一塊呈現(xiàn)出網格狀紋理的巨型華夫板很是吸睛?！斑@是三萬多組華夫筒拼接的，也是項目最特殊的地方?！表椖考夹g質量組副組長王海松介紹說，與其他行業(yè)的高科技廠房建設相比，半導體行業(yè)工程建設極具特殊性，為確保后期生產設備安裝精度以及電子元件制造過程中不受到塵埃和其他微粒的污染，空氣潔凈度和生產車間內的抗微震性需要嚴格把控。此次建設的廠房為高潔凈度生產廠房，核心生產區(qū)域可達納米級“十級”潔凈度（ISO 1級）潔凈度，比醫(yī)院最高等級手術室潔凈度的要求提高了100倍。

　　為此，該項目需要采用目前先進的華夫板（利用樓板內孔洞形成回風通道的樓板）樓面，內含80厘米和70厘米兩種高度共計30249個華夫筒，一次性組合完成14000余平方米的華夫板結構層?！芭c普通樓板相比，華夫板的中間預留了大量圓柱形垂直孔洞，以形成回風通道，從而建立起潔凈空調通風系統(tǒng)。潔凈車間中含微粒的氣流經由華夫板可以重新過濾出潔凈且穩(wěn)定的氣流。”項目機電負責人王冠說，華夫板施工質量的好壞將直接影響到整個廠房潔凈車間使用功能的發(fā)揮，因此如何控制華夫板的施工質量是本工程的重中之重。

　　記者了解到，為達到任意2米范圍內高差小于2毫米的高精地坪要求，確?；炷撩鎴杂膊黄鸹?、沒有蜂窩麻面，施工團隊對模板安裝各環(huán)節(jié)進行標高控制；混凝土澆筑前采用精密水準儀及靠尺，對已安裝完成的華夫筒進行復核和驗收；混凝土澆筑過程中，采用激光整平儀配合找平；混凝土澆筑找平完成后，再次使用精密水準儀配合2米靠尺，每50厘米方格網復核一次樓面標高，及時進行標高調整，最終達到高精水準。

　　高效施工填補

　　陜西半導體制造領域空白

　　隨后，記者跟隨工作人員沿著樓梯繼續(xù)向上，到達生產廠房第三層的施工區(qū)域時，巨大的鋼結構屋架就映入眼簾?！盀闈M足后期半導體設備能夠更便捷地進行移動與更換，項目房蓋鋼桁架跨度設計就比較大，單跨跨度就能達到43.2米和46.8米，整榀桁架重達140噸，其安裝工程屬于超過一定規(guī)模的危險性較大的分部分項工程?！表椖拷浝砝罨⒆屨f。

　　這么大的體量，如何采取有效的安全技術措施，確保鋼屋架的吊裝？為找到最合適的方案，項目團隊根據施工現(xiàn)場的特點，決定采用汽車吊上樓面拼裝的施工方案，將廠房劃分為4個施工段，每個施工段配合2臺50噸汽車吊吊裝，大大提高了施工效率，共計4000多噸的鋼結構僅用一個月就完成了施工。

　　據悉，8英寸高性能特色工藝半導體集成電路生產線建設項目總建筑面積約17.39萬平方米；由生產廠房、生產調試廠房、綜合動力站、特氣站、硅烷站及各類庫房等17棟單體組成。“電子廠房建設工期短、節(jié)奏快、質量要求高、資金量投入大，這也就對建設者的項目管理提出了更高的要求。在建設過程中，我們投入了大量的人力，廠房施工中工人數量最多時能達到1300余人，為了調度如此龐大的施工團隊和土建、鋼構、機電、工藝設備以及潔凈工程等多個工序，項目指揮部采取了一系列精細化管理措施和資源配置計劃?！表椖恐笓]部現(xiàn)場常務執(zhí)行指揮長楊曉棟說。

　　也正因如此，項目從地基處理到主體結構建設，從綁扎鋼筋到混凝土澆筑，每一個環(huán)節(jié)都能如期順利實施并完成，僅6個月就實現(xiàn)了項目主體封頂。未來項目建成后，將彌補“陜西芯”制造業(yè)短板，增強陜西集成電路產業(yè)競爭力和聚集力，促進產業(yè)上下游順暢銜接。

　　近年來，“中國屏”“中國芯”等高科技電子產業(yè)發(fā)展極大緩解了我國曾經“缺芯少屏”的尷尬，隨著我國不斷加大高科技電子廠房的投入，這些代表民族工業(yè)核心競爭力的背后，少不了“超級廠房”的保駕護航，這些彰顯中國制造崛起騰飛的“超級廠房”的建設也吸引了眾多目光。楊曉棟說：“在陜西高科技電子廠房的高效建設與核心技術快速提升，科技電子產業(yè)競爭力不斷增強的發(fā)展趨勢下，我們將繼續(xù)深入研究高精廠房的建造技術，以強大的專業(yè)能力為陜西制造保駕護航，以品質助力并‘建’證‘中國芯’‘陜西芯’的進步和發(fā)展?！?/div>

贊

瀏覽

{:mocs_33:}

看看

好

好