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標(biāo)題: 半導(dǎo)體技術(shù)突破!西安郵電大學(xué)研制出來 8 英寸硅片制備出氧化鎵外延片?。。?[打印本頁]
作者: 漢唐盛世夢長安 時間: 2023-3-17 09:27
標(biāo)題: 半導(dǎo)體技術(shù)突破!西安郵電大學(xué)研制出來 8 英寸硅片制備出氧化鎵外延片?。?!
據(jù)業(yè)內(nèi)消息,本周西安高校半導(dǎo)體研究團(tuán)隊(duì)宣布在半導(dǎo)體材料研究上取得突破!
該研究成功在 8 英寸硅片中制備出高質(zhì)量的氧化鎵外延片,標(biāo)志著在超寬禁帶半導(dǎo)體研究上取得重要進(jìn)展。
據(jù)悉,該研究成果出自西安郵電大學(xué)新型半導(dǎo)體器件與材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的陳海峰教授團(tuán)隊(duì)。
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陳海峰教授表示,氧化鎵是一種超寬禁帶半導(dǎo)體材料,具有優(yōu)異的耐高壓與日盲紫外光響應(yīng)特性,在功率器件和光電領(lǐng)域應(yīng)用潛力巨大。硅上氧化鎵異質(zhì)外延有利于硅電路與氧化鎵電路的直接集成,同時擁有成本低和散熱好等優(yōu)勢。
氧化鎵(Ga2O3)是金屬鎵最穩(wěn)定的氧化物,是制造半導(dǎo)體器件的重要材料,是國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)普遍關(guān)注的第四代材料。
作為一種寬禁帶半導(dǎo)體材料,其導(dǎo)電性能和發(fā)光特性長期以來是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)關(guān)注的重點(diǎn),在光電子器件方面有廣闊的應(yīng)用前景。除了可以用作新型半導(dǎo)體元素鎵基半導(dǎo)體材料的絕緣層,還可以在紫外線濾光片、氧氣化學(xué)探測器等發(fā)揮重要作用。
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作為一種新型的半導(dǎo)體材料,氧化鎵比之前的半導(dǎo)體材料具備更高的擊穿電場強(qiáng)度與更低的導(dǎo)通電阻,在低能耗的同時產(chǎn)生更高的效率。
除此之外,氧化鎵在成本較低的同時也具有良好的化學(xué)特性和熱穩(wěn)定性,再加上其制備方法相對便捷,因此在工業(yè)產(chǎn)業(yè)化方面具有較高的價值和優(yōu)勢。
根據(jù)西安郵電大學(xué)介紹,該新型半導(dǎo)體器件與材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室擁有大約 30 余人,具備完整的氧化鎵工藝實(shí)驗(yàn)線及超凈工藝間,主要研究超寬禁帶氧化鎵材料與器件。
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近兩年,我國在氧化鎵材料的制備上不斷取得突破性進(jìn)展,相關(guān)技術(shù)也逐步成熟。
2022 年 5 月,浙大杭州科創(chuàng)中心首次采用新技術(shù)路線成功制備 2 英寸氧化鎵晶圓,不僅擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán),而且使用該技術(shù)制備的 2 英寸氧化鎵晶圓是全球首次。
2022 年 12 月,銘鎵半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)了 4 英寸氧化鎵晶圓襯底技術(shù)突破,成為國內(nèi)首個掌握第四代半導(dǎo)體氧化鎵材料 4 英寸相單晶襯底生長技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化公司。
上個月,中國電科集團(tuán)宣布中國電科 46 所成功制備出我國首顆 6 英寸氧化鎵單晶,達(dá)到國際最高水平,同時突破了 6 英寸氧化鎵單晶生長技術(shù),其良好的結(jié)晶性可用于 6 英寸氧化鎵單晶襯底片的研制。
綜上所述,我國在半導(dǎo)體氧化鎵材料的逐步突破將有力支撐該材料的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展,未來將逐步以點(diǎn)到面地拓展到其他半導(dǎo)體材料,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展打下良好基礎(chǔ)。
轉(zhuǎn)自——大半導(dǎo)體公眾號?。?!
作者: 國力 時間: 2023-3-17 09:59
繼續(xù)努力
作者: 涇陽不相信分裂 時間: 2023-3-17 10:02
加油,西安。
作者: lxj1019293 時間: 2023-3-17 10:14
科技創(chuàng)新發(fā)展
作者: 笑傲風(fēng)塵 時間: 2023-3-17 10:17
加油
作者: able大方の家 時間: 2023-3-17 10:19
這個必須頂起!
作者: kvychao 時間: 2023-3-17 10:33
轉(zhuǎn)化到西安本地
作者: 長安不長偏居中 時間: 2023-3-17 10:59
優(yōu)先西安落地
作者: 關(guān)中西門吹雪 時間: 2023-3-17 11:00
厲害
作者: solariz0026 時間: 2023-3-17 11:28
比清北牛
作者: wangzhensi4 時間: 2023-3-17 11:31
加油加油
作者: 漢唐盛世夢長安 時間: 2023-3-17 11:50
東南沿海地區(qū)財大氣粗,經(jīng)常挖西安的產(chǎn)業(yè)墻角,真是不要臉?。?!
作者: 后知后覺后想念 時間: 2023-3-17 12:17
國家優(yōu)先讓他們發(fā)展是讓他們反哺的 沒想到他們是趁火打劫
作者: 蔚藍(lán)1990 時間: 2023-3-17 14:43
好
作者: 天涯1224 時間: 2023-3-17 14:57
好
作者: 代偉鋒 時間: 2023-3-17 15:06
好
作者: 新可欣 時間: 2023-3-17 15:53
不錯,加油{:mocs_48:}
作者: 邊際流星 時間: 2023-3-17 16:28
不錯哦
作者: 親愛的路人幸福 時間: 2023-3-17 16:48
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作者: 無可 時間: 2023-3-17 17:13
厲害了
作者: 人潮里 時間: 2023-3-17 17:50
加油
作者: 踏雪毋恨 時間: 2023-3-17 20:11
好,15號線郵電大學(xué)站通車,也算學(xué)校的一張名片
作者: 陽光陽光 時間: 2023-3-17 20:44
{:mocs_33:}
作者: 大秦小雍 時間: 2023-3-17 23:33
趕緊本底轉(zhuǎn)化聯(lián)系比亞迪華為代工
作者: 他山之石 時間: 2023-3-17 23:34
好好
作者: xiaomao029 時間: 2023-3-18 00:16
好
作者: 微紅wh 時間: 2023-3-18 00:17
厲害了,西郵!西安高校,加油??!
作者: 大耳將軍 時間: 2023-3-18 05:50
干的漂亮
作者: 凱悅 時間: 2023-3-18 06:43
好
作者: 兵哥哥 時間: 2023-3-18 07:13
了
作者: 聆聽如水 時間: 2023-3-18 07:55
加油
作者: DABAO 時間: 2023-3-18 08:13
陳海峰教授厲害!
作者: Lucky007 時間: 2023-3-18 11:28
光刻機(jī)光刻膠都要斷供了
作者: googlee 時間: 2023-3-18 16:08
把西安郵電大學(xué)改為西安信息工程大學(xué)
作者: scar 時間: 2023-3-18 19:52
樓主帶來好消息??!頂起!
作者: 秦文軒 時間: 2023-3-18 22:12
好
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